WF6 негизинен электроника тармагында металл вольфрамдын химиялык буусу (CVD) процесси үчүн чийки зат катары колдонулат. WF6дан жасалган WSi2 ири масштабдуу интегралдык микросхемаларда (LSI) электр өткөргүч материалы катары колдонулушу мүмкүн, ошондой эле жарым өткөргүч электроддор үчүн чийки зат катары колдонулушу мүмкүн, фтор химиялык агенттер үчүн чийки зат, полимерлөө катализаторлору, оптикалык материалдар ж.б.